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LED外延材料—MO源
LED外延材料—MO源
高純金屬有機(jī)源-MO源，是利用先進(jìn)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）或等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相淀積（PECVD）或原子層沉積（ALD）等工藝生成化合物半導(dǎo)體材料的關(guān)鍵支撐原材料，因而被稱為MOCVD的“前體物”，其在高溫條件下與特殊氣體（氮源氣體、氧源氣體、砷烷&磷烷等）生成高質(zhì)量的薄膜材料，主要用于制造高亮度發(fā)光管（LED）、高遷移率晶體管、半導(dǎo)體激光器、太陽(yáng)能電池等器件，并在紅外探測(cè)、超高速計(jì)算機(jī)、相變存儲(chǔ)器、射頻集成電路芯片等的核心原材料之一。
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